问答题

简答题 Wafer下线的第一道步骤是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是为何？

【参考答案】

①不希望有机成分的光刻胶直接碰触Si表面。
②在laser刻号过程中，亦可避免被产生的粉尘污染。

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