多项选择题
A.检查升降机部件固定螺丝有无松动 B.检查台面有无缺损等异常 C.用无尘布擦去丝杆废油 D.重新涂抹新润滑脂
A.观察刀架位置是否正常 B.观察刀架位置定位是否准确 C.检查切割刀片是否有缺损 D.观察刀片切割是否能正常切断，切割位置是否合适。
A.观察Table面是否有划伤破损 B.观察Table面是否平整完好 C.放置试机陪片，打开真空，检查晶圆吸附后显示真空大小。 D.放置框架，打开真空，检查贴片框架吸附真空大小。