多项选择题
A.观察刀架位置是否正常 B.观察刀架位置定位是否准确 C.检查切割刀片是否有缺损 D.观察刀片切割是否能正常切断,切割位置是否合适。
A.观察Table面是否有划伤破损 B.观察Table面是否平整完好 C.放置试机陪片,打开真空,检查晶圆吸附后显示真空大小。 D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。
A.用无尘布或棉球擦除喷水罩上的污垢 B.观察前后喷水杆是否平行 C.目检喷水杆有无破裂等异常 D.打开切割水后观察喷水状态是否均匀对称