问答题

简答题 光刻胶正胶和负胶的区别是什么?

【参考答案】

正性光刻胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应,可溶于显影液,未感光的部分显影后仍然留在晶圆的表面,它一般适合做长......

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