论述题 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？

【参考答案】

沟道效应：对晶体靶进行离子注入，当离子速度方向平行于主晶轴时，将很少受到核碰撞，离子将沿沟道运动，注入深度很深。由于沟道......

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