简答题 什么是硅片的自然氧化层？由自然氧化层引起的三种问题是什么？

【参考答案】

自然氧化层：如果曝露于室温下的空气或含溶解氧的去离子水中，硅片的表面将被氧化。这一薄氧化层称为自然氧化层。硅片上最初的自......

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