简答题 立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。

【参考答案】

工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统。
工艺腔是对硅片加热的场所，由垂直的石英罩钟、多区加热电......

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