简答题 简述法刻蚀的优缺点（与湿法刻蚀比）。

【参考答案】

优点：①刻蚀剖面各向异性，非常好的侧壁剖面控制；
②好的CD控制；
③最小的光刻胶脱落或粘附问题；......

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