简答题 什么叫硅的热氧化？有哪几种热氧化技术？

【参考答案】

硅的热氧化法是指硅与氧或水汽，在高温下经化学反应生成SiO₂。根据氧化剂的不同，热氧化可分为干氧氧......

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