论述题 集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？

【参考答案】

扩散工艺分类：按原始杂质源在室温下的相态分类，可分为固态源扩散，液态源扩散和气态源扩散。固态源扩散（1）.开管扩散......

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