蒸发镀膜的基本工艺流程是（）。

作为真空蒸发镀得装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要有真空室、（）、蒸发系统、电气设备四部分组成。

A.影像系统
B.排气系统
C.机械系统
D.扩散泵

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电弧放电蒸发法的优点有（）。

A.可以蒸发金属、半导体、陶瓷等各种无机材料
B.不会引起蒸发源辐射作用而造成基片温度的提高
C.电弧放电会飞溅出微米级大小的电极材料的微粒，从而保护膜层
D.蒸发源温度均匀稳定，不易产生蒸发料的飞溅现象

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