问答题

简答题 例举出芯片厂中6个不同的生产区域并对每一个生产区域做简单描述。

【参考答案】

芯片厂中通常分为扩散区、光刻区、刻蚀区、离子注入区、薄膜生长区和抛光区6个生产区域:
①扩散区是进行高温工艺及......

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