简答题 简述什么是浅槽隔离STI及优点。

【参考答案】

浅槽隔离是在衬底上通过刻蚀槽、氧化物填充及氧化物平坦化等步骤，制作晶体管有源区之间的隔离区的一种工艺。它取代了LOCOS......

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