判断题

PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

【参考答案】

错误

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多项选择题

Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却

多项选择题

TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性

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