多项选择题

TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性

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热门试题

多项选择题

在线使用的靶材主要有（）。

A.AlSi
B.Ti/TiN
C.AlCu
D.纯Al

多项选择题

需要监控的参数包括（）。

A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率

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