单项选择题
A.高介电常数膜B.低介电常数膜C.铁电体膜
A.DRAM上有位线和子线,位线和子线交点处有三极管极串联的电容B.电容和三极管结构所构成的单元就是DRAMC.逻辑LSI单元分为MOS器件以及互连线两部分D.反相器和与非门,寄存器和锁存器等都是逻辑电路的基本单元
A.绝缘膜有氧化硅膜,氮化硅膜等,可用作元件分离膜,栅绝缘膜,电容器介质等B.金属导体膜有铝薄膜,铜薄膜等,可用作金属布线等C.半导体膜有外延膜,多晶膜等,可用作层间电极等D.高低介电常数膜,都是用来作电容器介质膜