简答题 叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

【参考答案】

基本特征：体积小、重量轻、能耗低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成......

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