简答题 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

【参考答案】

光刻加工技术就是用光刻加工方法，刻蚀出规定的图形的技术。
光刻加工是用照相复印的方法将光刻掩膜上的图形印制在涂......

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