简答题 为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？

【参考答案】

沟道长度的缩短增加了源漏穿通的可能性，将引起不需要的漏电流，所以需要采用LDD工艺。
轻掺杂漏注入使砷和BF......

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