多项选择题

微观表面三维形貌光学焦点测量技术的特点（）

A.适合加工现场的使用
B.被测表面的反射率有要求
C.对表面倾斜很敏感
D.要求被测表面必须保持洁净、无水和油质，以保证测量结果

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多项选择题

微观表面三维形貌测量技术包括（）

A.原子力显微镜
B.光学焦点探测仪
C.扫描电子显微镜
D.探针轮廓仪

多项选择题

傅里叶变换光栅投影表面三维形状测量技术的优点（）

A.可用于动态测量
B.速度快
C.测量精度相对较低
D.只需要一帧或两帧条纹图

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