多项选择题
A.实现了点对点求解初相位B.需要进行相移C.精度高D.测量速度相对较慢
A.适合加工现场的使用B.被测表面的反射率有要求C.对表面倾斜很敏感D.要求被测表面必须保持洁净、无水和油质,以保证测量结果
A.原子力显微镜B.光学焦点探测仪C.扫描电子显微镜D.探针轮廓仪