论述题 简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。

【参考答案】

在光栅扫描方法中，每一个像素必须被逐次扫描。这样，曝光时间几乎与图形无关，图形就是通过打开和关闭快门写出来的。而已经开发......

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