简答题 什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？

【参考答案】

硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物，是一种具有热稳定性的金属化合物，并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。......

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