简答题 集成电路工艺划分为哪些？

【参考答案】

前工序：
（1）图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术
（2）薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)