简答题 质量输运限制CVD和反应速度限制CVD工艺的区别？

【参考答案】

1、质量传输限制淀积速率
淀积速率受反应物传输速度限制，即不能提供足够的反应物到衬底表面，速率对温度不敏感（如......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)