论述题 简述杂质在SiO₂的存在形式及如何调节SiO₂的物理性质。

【参考答案】

热氧化层中可能存在各种杂质，某些最常见的杂质是与水有关的化合物，其结构如图所示。如果氧化层在生长中有水存在，一种可能发生......

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