简答题 为什么射频溅射可以溅射非导电靶材？

【参考答案】

电子在射频电场作用下形成振荡运动，电离能力大大增强，并不像直流放电中对阴极二次电子发射有强烈的依赖。高频电路的能量可以通......

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