问答题
简答题 现在国际上批量生产IC所用的最小线宽大致是多少,是何家企业生产?请举出三个以上在这种工艺中所采用的新技术(与亚微米工艺相比)?
【参考答案】
国际上批量生产IC所用的最小线宽是Intel公司的32nm。在这种工艺中所采用的新技术有:铜互联;Low-K材料;金属栅......
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