问答题

简答题 描述CVD反应中的8个步骤。

【参考答案】

1）质量传输
2）薄膜先驱物反应
3）气体分子扩散
4）先驱物吸附
5）先驱物扩散进衬底
6）表面反应
7）副产物解吸
8）副产物去除

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