简答题 简述铜互连的优点及采取的工艺措施。

【参考答案】

优点：①电阻率更低；②电流密度高：抗电迁徙能力好于铝，铜合金中加入Al或Ti进一步增强抗电迁移；③更少的工艺步骤：采用大......

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