单项选择题
A.对缺陷深度测量精度影响很大B.对缺陷高度测量精度影响很大C.对缺陷长度测量精度影响很大D.对缺陷偏离轴线位置的测量精度影响很大
A.缺陷深度B.信号脉冲的长度C.探头中心间距D.晶片尺寸
A.严重影响缺陷高度的测量精度B.严重影响V形坡口根部缺陷的检出C.只在非平行扫查中存在D.只在平行扫查中存在