单项选择题

X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。

A.减小波长
B.增加数值孔径
C.减小与系统有关的常数值

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判断题
利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
多项选择题
制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。

A.浸渍提拉法
B.旋覆法
C.喷涂法
D.等离子体法
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