单项选择题
纳米压印技术的加工分辨率与()有关。
A.曝光波长
B.模板图案尺寸
C.数值孔径
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试题
单项选择题
X射线光刻技术与传统光刻技术相比,是通过()的手段来提高分辨率的。
A.减小波长
B.增加数值孔径
C.减小与系统有关的常数值
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判断题
利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
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