简答题 简述接触式光刻、接近式光刻及投影式光刻的优缺点。

【参考答案】

接触式光刻：分辨率较高，但是容易造成掩模版和光刻胶膜的损伤。
采用接触式光刻很难得到没有缺陷的超大规模集成电路......

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