问答题

简答题 紫外线光致分解沉积系统的优点是什么？

【参考答案】

（1）真空紫外线可以在没有任何吸收损失的条件下被直接引向窗口；
（2）在窗口处可避免薄膜沉积；
（3）没有光线直接到达基片。

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

问答题
限制激光化学气相沉积沉积率的参数主要有哪些？
问答题
激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似，但薄膜的生长特点在许多方面是不同的，这其中的主要原因是什么？
相关试题