问答题

简答题 激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似,但薄膜的生长特点在许多方面是不同的,这其中的主要原因是什么?

【参考答案】

(1)由于激光化学气相沉积中的加热非常局域化,因此其反应温度可以达到很高。
(2)在激光化学气相沉积中可以对反......

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