简答题 试画出9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的等效电路图。

简述采用5次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程的难点与特点。 点击查看答案

简述采用9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程技术关键。 点击查看答案