常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。

溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。 点击查看答案

离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。 点击查看答案