简答题 简述溅射成膜的原理，并举例说明哪种薄膜采用溅射方法成膜。

【参考答案】

在一定真空条件下，通过外加电、磁场的作用将惰性气体电离，用加速的离子轰击固体表面，离子和固体表面原子交换动量，使固体表面......

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