单项选择题

纳米材料的效应有（）。

A.体积效应和表面效应
B.体积效应和宏观量子隧道效应
C.量子尺寸效应
D.以上都对

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多项选择题
根据化学反应类型，化学气相沉积可以分为（）。

A.热分解反应和加水分解反应
B.氢还原反应、金属还原反应和基片还原反应
C.化学输送反应和氧化反应
D.等离子激发反应
多项选择题
采用溅射法沉积薄膜的过程有（）。

A.靶的溅射
B.逸出粒子的形态
C.溅射粒子向基片的迁移
D.在基板上成膜的过程
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