问答题

简答题 简述蒸镀与溅射的区别

【参考答案】

蒸镀：让材料加热气化（发射出粒子），再沉积到基片上成膜。
溅射：用离子轰击，将靶材原子打出来，再沉积到基片上成膜。

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