多项选择题
A.元件分离膜B.栅绝缘膜C.金属布线下层间膜D.表面钝化膜
A.电阻B.电感C.电容D.三极管E.二极管
A.为平行平板反应离子刻蚀B.被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好C.存在缺陷和污染等物理损伤,要采取措施处理D.要用到刻蚀液