多项选择题

逻辑LSI电路使用到了下列哪些薄膜?()

A.元件分离膜
B.栅绝缘膜
C.金属布线下层间膜
D.表面钝化膜

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热门 试题

多项选择题
DRAM的“存储单元”中,存在字线和位线,这两种线的交叉处要配置有()。

A.电阻
B.电感
C.电容
D.三极管
E.二极管

多项选择题
干法刻蚀是()。

A.为平行平板反应离子刻蚀
B.被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.存在缺陷和污染等物理损伤,要采取措施处理
D.要用到刻蚀液

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