扫描电子显微镜有哪些应用?

【参考答案】

扫描电镜在材料科学研究及微细加工等方面有着重要应用。
(1)观察材料内部的微结构及动态变化。材料是由粒子按一定规律排列成的一种精密结构，纳米材料的制备更是如此，当排列发生变化时，材料的特性就会发生改变。
(2)观察金属端口，判断端口类型。金属断裂可分为疲劳断裂、脆性断裂、过载断裂等，不同原因导致的断裂，裂纹的形状不同。可通过观察裂纹形状判断断裂原因，提高材料的性能。
(3)分析材料的成分、杂质及其含量。
(4)研究晶体的结构、定向和缺陷。
(5)PN结扩散监控：对扩散区的深度进行测量或直接观察扩散区的实际分布情况。
(6)表面损伤程度的观察：机械加工或蚀刻(过腐蚀)过程中引起的表面晶格损伤。
(7)集成电路的失效检查：通过加工电路结合部位，如引线、焊接点等，判断其结构缺陷与电学性能不佳的关系，从而找出失效部位及失效原因。