问答题

磁微传感器的基本特点,其主要元件的机理有哪些?

【参考答案】

(1)基本特点:具有小的结构尺寸,其材料和制备技术及工作条件(如工作温度)能与微电子电路兼容。
(2)主要的元件的机理:①霍尔器件:基于磁场电效应;②磁阻元件:材料在磁场中表现出的电阻率各向异性;③磁通门:固有状态;在外加磁场信号的影响,通过分析脉冲的相位变化,可测量外加磁场的大小。