简述薄膜的种类有哪些？各有哪些？

【参考答案】

薄膜的种类
    1）绝缘膜2）半导体膜3）金属膜
绝缘介质膜的种类：主要如 SiO2   和   Si3N4 
如：SiO2  表面钝化层 、掺杂阻挡层、绝缘隔离层、器件绝缘体（MOS栅）
半导体膜的种类：多晶硅（MOS栅）、Ge 和 砷化镓 等（特殊功能的集成电路）
金属膜的种类：Al、Cu、Wu 和Ti等作用：欧姆接触、器件互连和阻挡隔离等。