多项选择题

‎影响淀积速率的因素有（）。

A.降低δs
B.增加Um
C.减小基座长度L
D.增加温度

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多项选择题

Grove模型建模时，关注的主要运动形式有（）。

A.反应运动
B.扩散运动
C.脱吸运动
D.漂移运动

多项选择题

‏以下关于CVD的描述正确的有（）。

A.hg≥ks，淀积速率为扩散控制
B.hg≤ks，淀积速率为反应控制
C.hg≥ks，淀积速率为反应控制
D.hg≤ks，淀积速率为扩散控制

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