多项选择题
A.湿法比干法的选择性好B.干法比湿法的保真度好C.干法比湿法的图形分辨率低D.湿法比干法的设备更复杂
A.扫描电子,接触模式和非接触模式B.扫描探针,轻敲模式C.扫描探针,恒高度模式和恒电流模式
A.背散射B.恒高度C.恒电压D.恒电流