多项选择题
A.原子 B.分子 C.电子 D.离子
A.入射电子束可以被聚焦 B.入射电子与样品原子发生弹性散射，散射波相互干涉形成衍射波 C.入射能量为10～200KeV的高能电子穿透能力比X射线强，可用于薄膜分析 D.入射能量为10～500eV的低能电子可用于分析样品表面1-5个原子层的结构信息