多项选择题

下列属于多晶硅薄膜的特性有（）。

A.扩散系数明显高于单晶硅
B.晶粒尺寸大的薄膜电阻率小
C.晶向唯一
D.电阻率远高于单晶硅

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多项选择题
​LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。

A.产量低
B.可淀积Si3N4等
C.台阶覆盖好
D.反应控制
多项选择题
‎APCVD系统的缺点有（）。‎

A.均匀性差
B.易发生气相反应
C.台阶覆盖
D.高温工艺
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