单项选择题
A.吸附→离解→扩散→再结合→脱附和释出B.吸附→扩散→离解→脱附→再结合C.吸附→离解→再结合→扩散→脱附和释出D.离解→吸附→扩散→再结合→脱附和释出
A.大于1/100B.小于1/100C.大于1D.小于1
A.影响真空室的极限压力和工作压力B.污染系统,影响真空泵的性能和寿命C.在真空机组停止抽气后,造成真空室的压力升高D.以上都是